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國林科技:目前90%以上的清洗步驟以濕法工藝為主

每日經(jīng)濟新聞 2021-09-10 10:51:18

每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:董秘你好,國內(nèi)四家半導(dǎo)體芯片清洗公司用的手什么方法清洗?國林自己的半導(dǎo)體芯片清洗技術(shù)是國內(nèi)首家嗎?國產(chǎn)代替的潛力大嗎?市場空間大嗎?

國林科技(300786.SZ)9月10日在投資者互動平臺表示,尊敬的投資者,您好。目前半導(dǎo)體清洗行業(yè)按照清洗原理可分為干法清洗和濕法清洗,在實際生產(chǎn)過程中一般將濕法和干法兩種方法結(jié)合使用,目前90%以上的清洗步驟以濕法工藝為主。目前,全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場主要由日美韓企業(yè)瓜分,國內(nèi)清洗設(shè)備廠商市場占比不足5%,清洗設(shè)備用臭氧發(fā)生器國產(chǎn)化率僅為10%左右。公司應(yīng)用于半導(dǎo)體清洗的高濃度臭氧發(fā)生器和半導(dǎo)體用高濃度臭氧水機研發(fā)項目進度推進順利。感謝您的關(guān)注。

(記者 袁東)

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