每日經(jīng)濟(jì)新聞 2025-11-12 12:21:10
每經(jīng)AI快訊，珂瑪科技在互動(dòng)平臺(tái)表示，公司先進(jìn)陶瓷主要應(yīng)用于晶圓制造（包括存儲(chǔ)芯片）前道工藝設(shè)備，目前已進(jìn)入刻蝕、薄膜沉積、離子注入、光刻和氧化擴(kuò)散等多種設(shè)備。截至目前，公司12英寸靜電卡盤(pán)已完成驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)小規(guī)模量產(chǎn)，12寸多區(qū)加熱靜電卡盤(pán)已完成產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，公司正積極推進(jìn)其驗(yàn)證進(jìn)程。
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